半導(dǎo)體制造領(lǐng)域用KAYDON薄壁軸承

KAYDON薄壁軸承來自 Carter 的產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于整個(gè)半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。在這個(gè)自動(dòng)化程度很高的高科技行業(yè)中，KAYDON將重量輕、尺寸小和極高的精度能力相結(jié)合，使其纖薄的薄型軸承成為幾乎所有半導(dǎo)體制造工藝中的流行選擇。從晶圓探針到定位器和拾取/放置機(jī)器人再到真空沉積系統(tǒng)，只要精密設(shè)備需要移動(dòng)或旋轉(zhuǎn)，Carter 提供的KAYDON工程薄截面軸承解決方案可以滿足這些應(yīng)用的需求。

KAYDON用于半導(dǎo)體制造的薄壁軸承產(chǎn)品組合可現(xiàn)貨供應(yīng)或完全定制，以**限度地提高性能并**限度地減少半導(dǎo)體制造操作中的摩擦、污染、腐蝕、脫氣和磨損。專業(yè)的卡特軸承工程師在半導(dǎo)體制造機(jī)械和工藝的特定設(shè)計(jì)需求方面經(jīng)驗(yàn)豐富，可以就高真空（10 -8 至 10 -12 ）操作的**材料和潤滑劑提供建議 Torr）和局部溫度高于 250°C。他們還可以就如何減少微粒的產(chǎn)生以及在腐蝕性化學(xué)環(huán)境中使用的薄截面軸承的公差提供建議。在一些專門的半導(dǎo)體制造應(yīng)用中，KAYDON混合軸承提供了改進(jìn)的扭矩特性，還可以延長軸承在邊緣潤滑應(yīng)用中的服務(wù)。我們的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師也可以就此提供建議。

KAYDON薄截面軸承是空間狹小且重量減輕很重要的高速、平穩(wěn)扭矩應(yīng)用的理想解決方案。如有需要，軸承可以具有一個(gè)共同的滾道，兩個(gè)軸承路徑同時(shí)磨削并一起“跳動(dòng)”，這種設(shè)計(jì)有助于消除可能由軸向跳動(dòng)變化引起的任何潛在額外扭矩。同樣，卡特專家工程師可以就此提出建議。Carter KAYDON系列中的其他產(chǎn)品提供單個(gè)外滾道和單個(gè)內(nèi)滾道。這有助于提供優(yōu)化的扭矩性能當(dāng)薄截面、角接觸 KAYDON軸承成對或堆疊時(shí)，安裝過程中是否會(huì)出現(xiàn)不對中（或方向錯(cuò)誤） 。

KAYDON薄壁軸承用于半導(dǎo)體制造應(yīng)用的一個(gè)關(guān)鍵設(shè)計(jì)優(yōu)勢是可以為軸承指定密封（或屏蔽），而無需增加所需空間。Carter 專業(yè)的半導(dǎo)體行業(yè)工程師將就可在大氣環(huán)境中使用的密封件或應(yīng)考慮用于真空或其他潔凈室環(huán)境的防護(hù)罩提出建議。設(shè)計(jì)人員應(yīng)注意，由于防護(hù)罩和內(nèi)圈之間的接觸為零，因此在使用KAYDON薄型軸承時(shí)，不會(huì)產(chǎn)生扭矩?fù)p失、不會(huì)產(chǎn)生顆粒、不會(huì)產(chǎn)生熱量或性能下降。

經(jīng)驗(yàn)豐富的卡特半導(dǎo)體機(jī)械設(shè)計(jì)精密軸承團(tuán)隊(duì)位于牛津附近，處于以泰晤士河谷為中心的以賽車運(yùn)動(dòng)、核能、醫(yī)療、國防和航空航天工業(yè)為中心的高科技集群中。Carter 的專家員工都是訓(xùn)練有素的工程師，他們?yōu)榭蛻籼峁┆?dú)特的經(jīng)驗(yàn)、能力和專業(yè)知識(shí)。至關(guān)重要的是，他們還可以讓客戶訪問 Carter 的研發(fā)部門，提供我們認(rèn)為是英國**進(jìn)的軸承模擬軟件，以幫助為高科技、要求苛刻的半導(dǎo)體制造機(jī)械選擇和/或設(shè)計(jì)理想的軸承和應(yīng)用。
KAYDON薄壁軸承的典型半導(dǎo)體制造應(yīng)用：
大氣和真空轉(zhuǎn)移
CVD系統(tǒng)
切割設(shè)備
貼片機(jī)
點(diǎn)膠
蝕刻系統(tǒng)
檢測設(shè)備
研磨設(shè)備
機(jī)械手
測量系統(tǒng)
機(jī)械拋光機(jī)
機(jī)械拋光機(jī)
聲波清洗系統(tǒng)
光刻
拾取和放置機(jī)器人
定位器
探測站
機(jī)器人